مستشعر ضغط السيراميك

تشير أجهزة استشعار الضغط الخزفية إلى أجهزة الاستشعار التي تستخدم سيراميك الألومينا كعنصر مرن لاستشعار الضغط الأساسي. إنهم يستخدمون في المقام الأول طباعة الأغشية السميكة-وعمليات إطلاق النار المشترك-ذات درجة الحرارة العالية-لتشكيل جسر Wheatstone المقاوم للتجويف مباشرة على الجزء الخلفي من الحجاب الحاجز الخزفي. عندما يتعرض الحجاب الحاجز الخزفي لتشوه بسيط بسبب الضغط، فإنه يتسبب في تغيير في المقاومة، وبالتالي إخراج إشارة كهربائية.

المبدأ الأساسي هو التأثير التجويف، لكن التنفيذ يختلف عن السيليكون المنتشر:

المادة الأساسية:يستخدم ركائز سيراميك الألومينا عالية النقاء وعالية المرونة.

عملية التصنيع:

على الجزء الخلفي من الركيزة الخزفية، تتم طباعة عجينة مقاومة خاصة (غالبًا ما تحتوي على معادن ثمينة) على نمط جسر Wheatstone باستخدام تقنية طباعة الأفلام السميكة.

يتم بعد ذلك تلبيد الركيزة المطبوعة عند درجات حرارة عالية (عادة أكثر من 1000 درجة)، مما يؤدي إلى ربط عجينة المقاوم مع الركيزة الخزفية بقوة في وحدة واحدة.

عملية التشغيل:

يعمل الضغط على الجانب الأمامي من الحجاب الحاجز الخزفي.

يتعرض الحجاب الحاجز الخزفي لتشوه انحناء طفيف للغاية.

يتم نقل هذا التشوه إلى المقاومات السميكة- الموجودة في الجزء الخلفي، مما يؤدي إلى تغيير قيم مقاومتها.

يتم تحويل التغير في مقاومة المقاومات الأربعة المتصلة في جسر ويتستون إلى إشارة خرج جهد تتناسب مع الضغط.

الوسم : مستشعر الضغط الخزفي، موردي مستشعر الضغط الخزفي في الصين